招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2024-05-20在采购与招标网发布 高真空磁控溅射薄膜沉积系统。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 中山大学微电子科（略）高真空（略）采购项目发布时间：（略）-（略）-（略）:（略）阅读量：0次项目概况采购类型采购项目编号中大招（货）[（略）]（略）号项目名称中山大学微电子科（略）高真空（略）采购项目申购主题高真空（略）项目类型货物采购项目预算***最高限价（（略））（略）,（略）.（略）采购开始时间（略）-（略）-（略）:（略）采购结束时间（略）-（略）-（略）:（略）采购单位中山大学经办人王老师经办人电话（略）期望收货时间合同签订后（略）天交货是否送货是送货地（略）高新（略）中山大学（略）瀚林2（略）A（略）室电子签章本项目需要使用（略）签字（略）操作手册（略）备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。2、进口货物中如有国内供货部（略），供应商在报价时应（略）别报价，境外供货部（略）、国内供货部（略）的币种选择见第1条，并（略）别签订进口货物采购合同和国内采购合同。3（略）不收取任何费用，外贸代理费由供应商（略）。4、本项目需要使用（略）证书，请供应商根据指引（http:（略）.cnarticle（略））提前（略）证书。5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。采购明细1采购设备高真空（略）数量1台参考品牌技术要求序号技术要求内容评（略）等级是否星号条款是否需要附件说明1极限真空：优于5x（略）-5（略）漏率：≤2x（略）-7Pa.lS需（略）抽至高真空后停泵关机保压（略）小时后真空度小于（略）Pa。非常重要否是2抽速测试：从大气抽到工作真空（5x（略）-5Pa）时间少于（略）钟（干燥环境下）；（需提供附件证明）。非常重要否是3基片加热：炉丝最高加热温度不低于（略）℃,控温精度小于±2℃。重要否否4溅射尺寸：直径6英寸大工件台，兼容4英寸、2英寸、Φ（略）mm、Φ（略）mm，以及小尺寸方形片。基片旋转速度：5～（略）rpm连续可调，旋转轴水冷保护，转轴磁流体密封；重要否否5成膜质量：直径4英寸范围内均匀性优于±3%；（以Al靶材在通氮气情况下做工艺测试，样品直径为4英寸，镀膜厚度（略）nm左右进行标定，以验证设备的各项参数）。验收前，需提供（略）实测的数据报告。非常重要否否6（略）溅射真空度在0.2Pa，溅射成膜致密，能溅射超薄氧化物膜层。重要否否7基台配有负偏压电源，提高真空等离子体内带电粒子的能量。重要否否8优质（略）不锈钢真空室，尺寸约为（略）mm（宽）x（略）mm（深）x（略）mm（高），内外部电抛光处理；真空室顶部及底部有备用法兰接口以备将来使用；可拆卸不锈钢内衬；手拧拆卸方便清理；设备带支撑地脚和滚轮。重要否否9高真空泵：脂润滑（略）子泵，抽速不小于（略）LS；高阀：8寸电动插板阀一套；机械泵：抽速不低于9LS；真空测量：进口全真空全量程真空计；真空密封：采用无氧铜密封，门胶圈采用氟胶圈密封；电控气动粗抽阀，放气阀。重要否否（略）气体控制：3（略），（略）备用，采用流量计控制进气，流量计最大流量（略）别不小于（略）sccm，2（略）气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光EP管及VCR接头，混合后导入真空室前方进气；气流量精度不高于±1.0%S.P.≥（略）%F.S.;±0.（略）%F.S.（略）%F.S.。质量流量控制器响应时间不超过1sec。重要否否（略）直流电源3台：不小于（略）W的直流电源，功率输出：单输出0~（略）W，最大可输出到（略）W；模式：功率调节、电流调节或电压调节；显示精度：小于最大输出值的2%；多级弧抑制及灭弧。重要否否（略）射频电源1台：不小于（略）W的射频电源,自动匹配，频率:（略）.（略）MHz,误差不超过±0.（略）%，最大输出功率W:（略）W，最小输出功率W:2W，反射功率极限W:小于（略）W。重要否否（略）溅射靶枪：4个3英寸圆形靶枪共焦向上（或向下）溅射，靶枪和工件距离（略）-（略）mm可调节，溅射靶（略）度精确可调，靶枪倾斜（略）度可调节（0-（略）度），每个靶枪带一个独立的电控气动挡板，配备自动切换器各靶可独立顺次共同工作。重要否否（略）PLC+电脑人（略），具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面；控制内容：机械泵，（略）子泵，气动、电磁阀门、流量计、真空计等等；自动抽真空，自动排气等；具有完（略）的互锁保护（硬件、（略）互锁），在手动和自动模式下，设备处于完（略）互锁保护下，保障人员和设备安全。重要否否（略）附件参数：1.静音空压机：提供干燥、干净、无水、无油的压缩空气，压力0.（略）-0.6MPA；2.电脑与显示屏：CPU型号Inteli5系列，内存类型DDR4，容量和频率（略）G（略）MHz，新卡芯片型号GMAHD（略），主机接口类型和数量（略）×USB含2.0，3.1，视频接口类型和数量1×VGA，2×DP。硬盘参数（略）GSSD，显示器的规格和（略）辨率:（略）.5英寸（宽屏（略）：9），（略）辨率不低于（略）×（略），VGA接口×1。3.循环水机：控温范围约5-（略）℃，控温精度不高于±2℃、以及制冷量不低于3kw，水压的压力值不低于2kgcm2。4.静音冷冻干燥机：常压露点不高于-（略），（略）机运行噪声不高于（略）dB。重要否否（略）.保修期内，保修承担方需为设备厂家；维修（略）部件需原装部件；2.设备厂家需每年至少提供一次免费上门检修服务。重要否否资质要求序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明1第1条资质参数符合性参数（略）营业执照副本原件扫描件是2第2条资质参数符合性参数填写并按要求（略）“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）是3第3条资质参数符合性参数填写并要求（略）“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并（略））是4第4条资质参数符合性参数填写并按要求（略）“供应商资格声明”（需签字并盖（略）要求序号要求名称要求内容是否需要附件说明1合同履约该项目必（略）合同范本执行（略）地址：（略）ZSU（略）htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用（略）期结算付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。是2免费保修年限3年4年5年6年及以上是3产品（略）（要求（略）“制造厂商出具的授权函”）厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式是信息来源：http:（略）.comenquiryDetail（略）F（略）-C（略）-（略）-DC（略）-（略）E（略）BF9BFF（略）E;DD（略）E;EE（略）E;