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2021年01月25日

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光电制备系统(含手套箱、内部蒸镀仪、膜厚仪、探头、匀胶机等)  咨询本项目

采购与招标网   机械电子电器,商业服务   广东   2022-11-22
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招标代理公司(立即查看) 受业主单位(立即查看) 委托,于2022-11-22在采购与招标网发布 光电制备系统(含手套箱、内部蒸镀仪、膜厚仪、探头、匀胶机等)。现邀请全国供应商参与投标,有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 中山大学先进(略)(含手套箱、内部蒸镀仪、膜厚仪、探头、匀胶机等)采购项目基本信息项目编号中大招(货)[(略)](略)号项目名称中山大学先进(略)(含手套箱、内部蒸镀仪、膜厚仪、探头、匀胶机等)采购项目项目类型货物采购(略)(含手套箱、内部蒸镀仪、膜厚仪、探头、匀胶机等)采购单位中山大学项目预算***采购开始时间(略)-(略)-(略):(略)采购结束时间(略)-(略)-(略):(略)是否送货是期望收货时间合同签订后(略)天交货经办人刘老师经办人电话(略)-(略)送货地(略)号中山大学工学园1栋4(略)电子签章本项目需要使用(略)签字(略)操作手册(略)备注1、本项目国内货物部(略):含税人民币报价的付款方式按“中山大学国内采购合同(通用货物类)-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式4.1.3(略)期结算(适用于货物(略)散采购限额标准以上)”;境外供货部(略):付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式(2(略)以外方式采购的进口货物”,加征关税及进口代理费用由(略)必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部(略),供应商在报价时应(略)别报价,境外供货部(略)、国内供货部(略)的币种选择见第1条,并(略)别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3(略)不收取任何费用。4、本项目采用(略),请供应商根据指引http:(略).cnarticle(略))提前(略)证书。5、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。设备列表采购设备数量参考品牌详细(略)(含手套箱、内部蒸镀仪、膜厚仪、探头、匀胶机等)1(略)(含手套箱、内部蒸镀仪、膜厚仪、探头、匀胶机等)技术要求序号技术要求内容评(略)等级是否需要附件说明(略).箱体参数:设备尺寸长≥(略)mm,宽≥(略)mm,高≥(略)mm。重要否(略).箱体:视窗与箱体之间的密封采用双层微负压密封。非常重要是(略).箱体:手套口自动吸附功能。非常重要是(略).过渡舱:1)T型小过渡仓:材质:(略)不锈钢,厚度≥3mm,尺寸≥Φ(略)mm。2)T型大过渡仓:材质:(略)不锈钢,厚度≥3mm。尺寸≥Φ(略)mm。重要否(略):1)两个气体纯化柱;2氧气和水的吸附量(略)别:大于等于(略)升和4公斤。重要否(略).手套箱技术指标:1泄露率﹤0.(略)vol%h;2)H2O﹤1ppm,O2﹤1ppm。重要否(略).其它附件:1真空泵:流量大于等于(略)m3h,极限真空低于2x(略)-3毫巴,配油污过滤器。2氧(略)析仪:检测范围0-(略)ppm,精度±0.2ppm。3水(略)析仪:检测范围0-(略)ppm,精度±0.2ppm。4(略):最高温度(略)摄氏度。5)四个除尘模块。重要否(略).镀膜机:1)一体式机架,控制部(略)与真空室集成在一起,可(略)体移动。2)可安装1个尺寸大于等于(略)mm*(略)mm的基片托盘。样品架附近通循环水冷却。3)基片盘可旋转,采用电机驱动,旋转速度0-(略)转(略)可调。4)提供一套掩膜板,样片与掩膜板的配合间隙小于0.2mm。5)样片架和挡板旋转要求采用磁流体密封,保证密封可靠性。重要否(略).镀膜机:共8组蒸发源,8组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料;源与源之间配有防止交叉污染的防污板。非常重要是(略).镀膜机:蒸发电源功率1.4KW以上,用于蒸发金属和有机,可切换到8组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式,二者可切换。蒸发电源可以通过(略)控制,具体二段或以上升温过程控制,一段降温过程控制,也可以手动控制,此外,蒸发电源还可以通过膜厚仪PID(闭环控制),自动调节蒸发速率。蒸发源均带有水冷功能。重要否(略)★(略).镀膜机:膜厚仪速率测量显示精度优于0.(略)AS,厚度精度0.1A;频率(略)辨率0.(略)HZ,频率稳定性±2ppm(0-(略)度,测量周期0.1-1秒可调。带有WINDOWS操作(略),可以工控机上操作,带有PID环功能,可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。重要是(略).镀膜机:1)石英晶振探头2个,6MHZ,采用快速卡扣式结构更换晶振片,避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片。2腔体为方形,腔本由(略)制作,其内部尺寸大于等于(略)*(略)*(略)mm;有前后二个可完全打开的门,一个为滑动式开启,用于连接手套箱,一个为旋转开启或滑动式开启,用于维护清理。3腔体内表面精糙度小于等于0.8;外表面精糙度小于等于0.8。真空腔体保压(略)小时,压强小于(略)Pa。重要否(略).镀膜机:极限真空≤3.5*(略)-5Pa。非常重要是(略).镀膜机:1)主泵抽速不低于(略)LS;前级泵抽速不低于(略)立方米每小时。2)气动高真空插板阀,通径大于等于(略)mm。3)带有旁抽式结构,可不停主泵开启真空室。4)腔体充氮气,从大气抽至5*(略)-4Pa的时间要求小于(略)钟。5)PLC+工控(略)的控制(略)为手动和自动二种模式,自动模式下,根据腔内压强自动执行相关泵、阀的启闭。重要否(略).(1)保修范围:保修期内产品如有质量问题,提供免费维修及更换配件;由于使用不当所导致的设备的损坏,需免费提供技术服务(不含耗材类)。(2)售后服务要求:售后电话响应时间为(略)小时之内,(略)响应时间为2小时。(3)培训要求:安装调试后,中标人应做一次不少于4小时的培训,直至设备使用人员学会使用为止,培训人数原则上不限定。重要否欢迎供应商(略)、报价,如有疑问请联系技术支持qq:(略)、(略)审核时间为(工作日8:(略)-(略):(略)),一般为当个工作日。2、缴费确认时间(工作日8:(略)-(略):(略)):a、对公转账一般到账时间需要四个小时,缴费确认需要四个小时以上,节假日期间请使用(略)b、推荐使用(略),(略)自动确认收款,可马上报价。3、资料准备时间为1-2日,请供应商提前准备。4、供应商第一次报价可能需要较长时间,请提前报价。FF(略)E;AA(略)E;(略);DD(略)E;EE(略)E;
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