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2021年01月25日

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关于内蒙古大学笔记本电脑网上竞价公告  咨询本项目

采购与招标网   市政房地产建筑,科技文教旅游   内蒙古   2024-03-25
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招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2024-03-25在采购与招标网发布 关于内蒙古大学笔记本电脑网上竞价公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 打印公告多靶磁控溅射镀膜设备（（略）HGD-CG-（略））采购公告发布时间（略）-（略）-（略）阅读量（略）次项目名称多靶磁控溅射镀膜设备项目编号（略）HGD-CG-（略）公告开始日期（略）-（略）-（略）公告截止日期（略）-（略）-（略）采购单位西湖大学光电研究院付款方式合同签订预付（略）%，验收合格后付（略）%联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看签约时间要求到货时间要求签约后（略）个自然日预算总价￥（略）.（略）+NaN+NaN发票要求增值税普通发票增值税专用发票含税要求送货要求安装要求收货地址杭州市富阳区富春湾新城西湖大学光电研（略）采购法》第二十二条规定的供应商基本条件公告说明采购清单1采购商品采购数量计量单位所属（略）类多靶磁控溅射镀膜设备1台无无品牌品牌1型号品牌2型号品牌3型号品牌4型号品牌5型号品牌6型号预算单价￥（略）.（略）技术参数及配置要求1.真空腔室：净空间尺寸不大于Φ（略）×H（略）mm，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ（略）mm；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用（略）无磁不锈钢材质；2.真空（略）：主泵（略）子泵抽速不小于（略）m3h，双级旋片泵抽速不小于（略）m3h，全量程数显复合真空计量程（略）×（略）～1×（略）-5Pa；3.▲真空极限：优于2.3×（略）-7Torr；4.★抽速：抽至3.7×（略）-6Torr≤（略）min；5.▲基片台：根据客户要求定制的基片台，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配一体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台需要设计旋转：旋转速度0-（略）转（略）连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热（略）智能温控表，控温范围室温～（略）℃；6.★阴极靶：不少于3只2英寸圆形平面靶，需采用原装进口品牌，靶头内部需采用全金属密封，不得采用胶圈密封，以满足超高真空应用。靶材安装不需要固定压环，暗区屏蔽装置高度低于靶材表面，减少对辉光区域的束缚，并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率。靶头可调（略）度不小于±（略）°，可单靶轮流多靶聚焦共溅射；7.溅射电源：直流电源和直流脉冲电源各1台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源1台，要求自动匹配；8.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，（略）度与靶倾斜（略）度同步可调，要求磁流体密封；9.气路（略）：不少于三路工艺气体MFC控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；要求氩气准确度不低于±0.8sccm；其他工艺气体准确度不低于±0.5sccm；（略）.操控（略）+触摸屏手自一体操控（略），触摸屏不小于（略）英寸，真空（略）的控制（略）为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，（略）使用期限：永久有效；（略）.其它：冷却循环水机1台，制冷量不小于1P；镀膜设备及外围设备（冷水机等）总占地面积不超过1平米；参考链（略）点:当地;电话支持（略）小时;服务年限:三年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:两年;（略）-（略）-（略）源文地址：（略）6UNTN（略）ZZ1IZ.shtmlFF（略）E;DD（略）E;EE（略）E;
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