招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2024-09-03在采购与招标网发布 涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程（6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装专业分包工程答疑补遗文件。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 涪陵新能源汽车产业园A（略）配套（略）（6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装（略）答疑补遗（一）各潜在投标人：（略）汽车产业园A（略）配套（略）（6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装（略）答疑补遗如下：一、答疑部（略）提问1：1、“招标公告”（略）含附属设备所有的设备的供货、安装调试、验收，全部工艺流程涉及（略）设备、特气（略）、VMB与设备进口端的连接；本（略）及二次配（略）及二次配。2、“附件九-车间设备布置图（略）V（略）”与“附件一、工艺需求表”机台数量不一致；如：图纸中硅蚀刻只有4台，UIM表中有8台；UIM表中去胶机台在P（略）域，但图纸中P（略）域无机台，部（略）去胶机台在P（略）域等，请（略）域机台数量答复：以特气（略）汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。3、“附件一、工艺需求表”与“特气（略）汇总2”机台数量有差异；如：（1）、“附件一、工艺需求表“（略）Ar需求只有（略）个点，特气（略）汇总2中刻蚀Ar需求有（略）个点；（2）、“附件一、工艺需求表“（略）SIH4需求有（略）个点，特气（略）汇总2（略）SIH4需求只有6个点，等差异项，请（略）域机台数量答复：以特气（略）汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。4、“附件一、工艺需求表”中：去胶机台有4%H2N2需求，请明确4%H2N2供应形式：1、贵司（略）成品气瓶；2、配置混气装备；答复：已移除此类气体需求，具体详见附件一中（略）域汇总表。5、“附件一、工艺需求表”与“（略）域汇总表”中有差异项：（1）、UIM表中，需求Cl2的机台是（略）台，（略）域汇总表需求机台是（略）台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（2）、UIM表中，需求N2O的机台是5台，（略）域汇总表需求机台是6台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（3）、UIM表中，需求SF6的机台是（略）台，（略）域汇总表需求机台是6台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（4）、UIM表中，需求Ar的机台是（略）台，（略）域汇总表需求机台是（略）台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（5）、（略）域汇总表中有C4F8需求（略）细项答复：UM表中为CH2F2，已替换为C4F8，详见补遗附件一“工艺需求表”。（6）、UIM表中，需求C2F6的机台是3台，（略）域汇总表需求机台是6台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（7）、UIM表中，需求1%PH3HE的机台是4台，（略）域汇总表需求机台是5台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（8）、UIM表中，需求NH3的机台是3台，（略）域汇总表需求机台是9台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（9）、（略）域汇总表中描述：（略）设计以此汇总表为准，（略）.7.（略）增加HCL、NF3气体（略）细项答复：HCLVMB暂放P（略）房间（后期工艺预留），NF3放置在P（略）房间，机台型号：P（略）。以上差异信息烦请明确；如果有C4F8、HCl及NF3（略）需求，请提供（略）设计答复：C4F8由UM表中CH2F2变更详见附件工艺需求表，HCL为后期工艺预留VMB暂放P（略）房间，NF3放置在P（略）房间，机台型号：P（略）。6、“附件一、工艺需求表”与“特气（略）汇总2”差异项：（1）、特气（略）汇总2中，（略）有C4F8和NF3需求，UIM表刻（略）需求；答复：以特气（略）汇总表气体种类为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（2）、UIM（略）项中有N2O和CH2F2、4%H2N2需求，特气（略）汇总2（略）需求；答复：以特气（略）汇总表气体种类为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（3）、特气（略）汇总2中，（略）有NH3需求，UIM表薄（略）需求；答复：机台型号CONCEPTONE3台。（4）、特气（略）汇总2中，（略）有NH3、HCl需求，UIM表扩（略）需求；以上差异信息烦请明确；如果有NH3（略）需求，请提供（略）设计答复：扩散NH3VMB放P（略）房间，HCLVMB暂放P（略）房间，以特气（略）汇总2机台点位为准。7、“附件一、工艺需求表”中：N2O、Ar、C2F6、5%PH3N2、SIH4（略）换瓶时间均低于1天此项烦请确认；答复：按“附件五气体设备功能配置表”的要求配置。8、“特气发包技术规范-新陵微-（略）-8.（略）”列明有（略）.5%HeO2需求请明确是否有（略）.5%HeO2（略）需求，如果有请提供（略）设计；答复：已移除HEO2（略）需求，具体详见附件一中（略）域汇总表。9、“特气发包技术规范-新陵微-（略）-8.（略）”项（略）含第一阶段二次配部（略）；VMBVMP中是否需考虑预留二阶段机台点位？答复：以气体功能配置表数量为准,具体详见附件一中（略）域汇总表。（略）、“特气发包技术规范-新陵微-（略）-8.（略）”和“附件五-气体设备功能配置表”设备配置有冲突烦请确认，设备配置以哪份文件为准？答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。（略）、“特气发包技术规范-新陵微-（略）-8.（略）需包含大宗气站的监控画面同步、大宗气体纯化器、CQC状态监控所属的输入输出信号配接和实现GMS监测的全部工作。烦请提（略）的设备数量及信号方式；答复：已移除此项需求。详见补遗“特气发包技术规范新凌微（略）-9-3”。（略）、“特气发包技术规范-新陵微-（略）-8.（略）”：H2（略）：乙方负责、VMB到甲方主管预留点，VMB到机（略），含第一阶段二次配部（略）“涪陵新能源汽车产业园A（略）配套（略）6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改（略）限限价”H2站至VDB一（略）由乙方负责）”烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置关于其中提问1：特气发包技术规范-新陵微-（略）-8.（略）”：H2（略）：乙方负责、VMB到甲方主管预留点，VMB到机（略），含第一阶段二次配部（略）答复1：乙方负责VMB至甲方H2主管预留点、VMB到机台的二（略）。关于其中提问2：涪陵新能源汽车产业园A（略）配套（略）6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改（略）限限价”H2站至VDB一（略）由乙方负责）”答复2：VDB已移除，乙方负责从甲方H2主管预留阀接入VMB，见一层（略）平面布置图H2（略）。关于其中提问3：烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置答复3：已移除VDB安装，乙方从H2主管预留点位直接接入VMB，见一层（略）平面布置图中H2（略）。提问2：1、“招标公告”（略）含附属设备所有的设备的供货、安装调试、验收，全部工艺流程涉及（略）设备、特气（略）、VMB与设备进口端的连接；本（略）及二次配（略）及二次配。2、“附件九-车间设备布置图（略）V（略）”与“附件一、工艺需求表”机台数量不一致；如：图纸中硅蚀刻只有4台，UIM表中有8台；UIM表中去胶机台在P（略）域，但图纸中P（略）域无机台，部（略）去胶机台在P（略）域等，请（略）域机台数量答复：以特气（略）汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。3、“附件一、工艺需求表”与“特气（略）汇总2”机台数量有差异；如：（1）、“附件一、工艺需求表“（略）Ar需求只有（略）个点，特气（略）汇总2中刻蚀Ar需求有（略）个点；（2）、“附件一、工艺需求表“（略）SIH4需求有（略）个点，特气（略）汇总2（略）SIH4需求只有6个点，等差异项，请（略）域机台数量答复：以特气（略）汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。4、“附件一、工艺需求表”中：去胶机台有4%H2N2需求，请明确4%H2N2供应形式：1、贵司（略）成品气瓶；2、配置混气装备；答复：已移除此类气体需求，具体详见附件一中（略）域汇总表。5、“附件一、工艺需求表”与“（略）域汇总表”中有差异项：（1）、UIM表中，需求Cl2的机台是（略）台，（略）域汇总表需求机台是（略）台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（（略））、UIM表中，需求N2O的机台是5台，（略）域汇总表需求机台是6台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（（略））、UIM表中，需求SF6的机台是（略）台，（略）域汇总表需求机台是6台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（（略））、UIM表中，需求Ar的机台是（略）台，（略）域汇总表需求机台是（略）台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（（略））、（略）域汇总表中有C4F8需求（略）细项答复：UM表中为CH2F2，已替换为C4F8，详见补遗附件一“工艺需求表”。（（略））、UIM表中，需求C2F6的机台是3台，（略）域汇总表需求机台是6台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（（略））、UIM表中，需求1%PH3HE的机台是4台，（略）域汇总表需求机台是5台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（（略））、UIM表中，需求NH3的机台是3台，（略）域汇总表需求机台是9台；答复：（略）域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（（略））、（略）域汇总表中描述：（略）设计以此汇总表为准，（略）.7.（略）增加HCL、NF3气体（略）细项答复：HCLVMB暂放P（略）房间（后期工艺预留），NF3放置在P（略）房间，机台型号：P（略）。以上差异信息烦请明确；如果有C4F8、HCl及NF3（略）需求，请提供（略）设计答复：C4F8由UM表中CH2F2变更详见附件工艺需求表，HCL为后期工艺预留VMB暂放P（略）房间，NF3放置在P（略）房间，机台型号：P（略）。6、“附件一、工艺需求表”与“特气（略）汇总2”差异项：（1）、特气（略）汇总2中，（略）有C4F8和NF3需求，UIM表刻（略）需求；答复：以特气（略）汇总表气体种类为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（4）、UIM（略）项中有N2O和CH2F2、4%H2N2需求，特气（略）汇总2（略）需求；答复：以特气（略）汇总表气体种类为准，具体详见附件一中（略）域汇总表。（5）、特气（略）汇总2中，（略）有NH3需求，UIM表薄（略）需求；答复：机台型号CONCEPTONE3台。（4）、特气（略）汇总2中，（略）有NH3、HCl需求，UIM表扩（略）需求；以上差异信息烦请明确；如果有NH3（略）需求，请提供（略）设计答复：扩散NH3VMB放P（略）房间，HCLVMB暂放P（略）房间，以特气（略）汇总2机台点位为准。7、“附件一、工艺需求表”中：N2O、Ar、C2F6、5%PH3N2、SIH4（略）换瓶时间均低于1天此项烦请确认；答复：按“附件五气体设备功能配置表”的要求配置。8、“特气发包技术规范-新陵微-（略）-8.（略）”列明有（略）.5%HeO2需求请明确是否有（略）.5%HeO2（略）需求，如果有请提供（略）设计；答复：已移除HEO2（略）需求，具体详见附件一中（略）域汇总表。9、“特气发包技术规范-新