*1、配2组有机蒸发源，4组金属蒸发源；设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，前滑动开门结构，设备可融入手套箱（略）体设计、设备机架在手套箱下方不占用额外空间,该设备占地尺寸不大于（略）*（略）mm。真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为（略）mm*（略）mm*（略）mm 2（略）组成及技术参数： 2.1（略）：真空泵机组主泵抽速不低于（略）/L/S； *2.2真空极限：优于5.0×（略）-5Pa（手套箱环境）；漏率：优于5×（略）－8Pa*L/S（国家标准）；关机（略）小时后，真空度≤5Pa； 2.3抽速，抽气时间：大气压~5×（略）-4Pa小于（略）min（手套箱环境）； 2.4基片台：抽屉式结构，承载不小于（略）×（略）mm 样品，最大转速可达（略）转/（略）钟，配气动基片挡板。样品台可水冷，基片与蒸发源距离可调。 *2.5蒸发源及电源：配4组金属蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构；配套高精度蒸发电源， 1台蒸发电源，功率不小于1.5KW，精度0.1A，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式；2组（略）℃低温有机蒸发源带挡板；温控仪精确控温,精确控制输出，2台蒸发电源，功率不小于0.6KW，精度0.1A，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式，优质品牌共蒸发膜厚仪，4（略）显示：配备显示精度0.（略）A/s，配备2套掩膜板装置。 *2.6膜厚仪：监测厚度显示范围 0-（略）.（略）千埃；显示及控制精度：0.（略）埃，3个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。 *2.7控制方式 采用PLC+工控机实现（略）；包括一键自动蒸镀功能可输入工艺参数速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源输出等（投标时提（略）） 2.8报警及保护 缺水、气压检测与保护，相序检测与保护，对泵、电极等缺水、气压等异常情况进行报警并执行相应保护措施； 2.9细节设计 金属蒸发源位置设计合理，最大（略）贵金属金的消耗量；降低设备使用成本； 蒸发源（略）域设计，源间配有隔板，源上配独立挡板减少相互污染；（略）保护（略）子泵，（略）设计避免扬尘； 2.（略）关键配备及配件 设备主要部件如：金属及蒸发电源、膜厚仪等均为优质品牌。以保障设备的（略）体关键性能指标及耐久性。 设备的细节配件：1.电气部（略）PLC采用优质品牌PLC；继电器等原件采用优质品牌。2.所有挡板等动密封部位均采用磁流体密封以保证真空的长期可靠性。3.（略）部（略）采用金属水排（略）水器，水管采用耐高温尼龙水管。以保障设备的稳定可靠性。 *2.（略）膜厚均匀性参数 方形基片成膜不均匀性：优于±5%。 其中*为必须满足条件。

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