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采购与招标网
2021年01月25日
当前位置：首页 > 招标信息 > 西安工业大学2024年12月政府采购意向
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（略）采购信（略）采购意向公开工作的通知》（财库〔（略）〕（略）号）等有关规定，现将本单位（略）年（略）月至（略）年（略）月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(（略）) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 西安工业大学ALD设备 | 采购内容:ALD设备；主要功能或目标:设备主机规格：用于8英寸及小尺（略）：双腔结构；样品台单独加热；进样方式：样品台电动升降，样品手动转载。（略）：反应源与金属前驱体源单独进入反应腔体。配备6（略）前驱体源（略）；常温源：配备三孔ALD阀门、源手动阀；加热源：配备三孔ALD阀门、源手动阀；载气辅助源：配备三孔ALD阀门、载气脉冲ALD阀门、源手动阀、MFC；（略）采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制；配（略）：采用双级油封式（略）：PLC+工业触摸屏方式；支持灵活扩展通信方式；可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有ALD阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能；可进行温度PID参数自（略）定、前驱体标签修改等；可实时显示加热状态、阀门开关状态、压力曲线、等离子体功率曲线、镀膜进度；可实时监测动力气体压力值、加热状态、阀门开关状态等。 等离子体源及控制：远（略），等离子体发生腔独立于反应腔室，与反应腔以标准CF（略）接口连接；独立的（略），等离子体工艺气体2（略），（略）均包含MFC控制，可选O2、N2、Ar、NH3或H2；采用（略）.（略） MHz射频电源。 ；需满足的要求:项目建设后，建成并投入使用实验室（略）办学与科研设施设备水平（略）（ALD）具备原子级薄膜制备能力，针对多孔、高深宽比的衬底结构可实现表面沉积高均匀性、保型性、低缺陷的Al2O3、TiO2、AlN等高质量薄膜制备。ALD设备符合国家、行业、地方规定的质量和安全标准。。 | （略）.（略） | （略）年（略）月 | 无 |
本（略）采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
西安工业大学
（略）年（略）月（略）日
一、合同编号X-X二XXX环境改造项目三、项目编号X-X四XXX环境改造项目五、合同主体采购人甲方：西安工XXXXXX2号联系方式X-X供应商乙方：陕西广田装饰XXX有XXXXXX南二环西XXXX楼联......
西安工业大学 - 竞价公告 (CB107022024000056)
西安工业大学-竞价公告CBX发布时间X-X-XXX截止时间X-X-XXX基本信息：申购主题X年中文纸质期刊采购项目报价要求：国产含税发票类型：增值税普通发票付款方式：货到验收合格后付款送货时间：发布竞......
为配合政府实施《中华人民共和国招标投标法》以及规范公共采购市场的需求，于1998年在北京注册成立，已持续运营二十四年。
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