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2021年01月25日

当前位置:首页 > 招标信息 > 磁控溅射镀膜机  竞争性磋商公告

磁控溅射镀膜机  竞争性磋商公告  咨询本项目

采购与招标网   机械电子电器,商业服务   江苏   2024-01-15
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招标代理公司(立即查看) 受业主单位(立即查看) 委托,于2024-01-15在采购与招标网发布 磁控溅射镀膜机  竞争性磋商公告。现邀请全国供应商参与投标,有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 一、项目名称:磁控溅射镀膜机二、项目编号(略)三、采购人:(略)购与招(略)地址:(略)联系人:(略)    电话(略)-(略)电子(略)***技术联系人:(略) 电话(略)电子(略)***.cn四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求磁控溅射镀膜机  1套1.靶位:两个靶位,为3英寸溅射靶。每个靶位需配有独立挡板。靶位之间需放置隔板,防止交叉污染。2.磁钢:磁控溅射靶头可摆(略)度,可寻找最佳溅射(略)度,聚焦于共同点,靶(略)度调节精度为1°,溅射靶全部通水冷,保护磁铁在高温溅射过程中消磁,工作压强溅射为0.1Pa~(略)Pa,溅射不均匀性≤±5%。3.基片:适用3英寸×3英寸样品的均匀制备,可加热至(略)°C,并可旋转,转速在0~(略)转(略)钟连续可调。4.水冷:衬底基片、靶位和(略)子泵带水冷(略),冷却水箱容量>8L,可主动降温。5.真空度:气压可达到3×(略)-5Pa,(略)钟可达到6×(略)-4Pa,(略)停泵关机(略)小时后真空度≤5Pa。6.电源:配置一台射频电源,输出功率0~(略)W,输入电源(略)V~(略)V或(略)V~(略)V,1P,(略)Hz~(略)Hz,工作频率3.(略)MHz,输出阻抗(略)±5Ohms。7.样品预处理室:需配有进样室,能够在真空条件下对样品在进样室和主舱之间传送。预处理室需配有机械泵,极限真空可达(略)Pa以下。8.(略)子泵:抽速须大于(略)ls。9.气路:配有至少三个质量流量计控制的气路,(略)别为氩气、氩气氧气混合气体、氮气,最大流量均为(略)sccm。(略).真空计:复合真空计,常压~(略)-5Pa,并配有薄膜规。(略).均匀性:在7.5cm×7.5cm的基片上,厚度偏差应在5%以内。(略).具有可编辑的溅射程序,可一键完成全部溅射程序。(略).提供详细配置清单并注明主要部件生产厂家或品牌。(略).质保期不少于1年。五、评(略)标准本次磋商采用综合评(略)法,总(略)为(略),具体内容如下:(一)技术参数、配置及(略)体综合性能(略)((略))1.技术参数及配置((略))以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据,其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。(1)所提供产品多项不满足磋商公告要求(偏离),或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的,经磋商小组评审可作为无效响应文件。(2)所提供产品不满足磋商公告要求(偏离)、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的,每处扣2(略)。2.综合性能情况((略))(1)所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况(磋商小组认为超出指标有意义的)(6(略))。其中优于项,每处加2(略)。(2)所提供产品的市场反馈情况(9(略))。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。(二)价格(略)((略))1.基准价:满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价,基准价为满(略)。2.其他供应商的报价得(略)按照下列公式计算:报价得(略)=(基准价/报价)×(略)。((略)((略))1.综合实力(3(略))根据供应商综合实力评定。2.售后服务与培训情况等((略))(1)质保期(3(略))。符合磋商文件要求的,得1(略),每增加一年质保期加1(略)。(2)服务、技术支持与培训承诺情况(7(略))。根据磋商响应文件的(略)点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。3.其它优惠措施等(2(略))根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外,磋商小组认可的优惠措施综合评定。六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。七、供应商资质要求(一)具有独立承担民事责任的能力;(二)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;(三)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;(四)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;(五)近三年内,在经营活动中没有重大违法记录;(六)本项目不接受联合体报价。八、磋商响应文件的组成(一)磋商响应文件一般由下列材料组成(部(略)表格样式见附件1),复印件须加盖供应商公章,所有材料须按序装订成册(略).目录(磋商响应资料与页码对照表,原件)。2.磋商响应函(原件)。3.响应基本情况一览表(原件)。4.详细配置清单(原件)。5.技术规格偏离表(原件)。6.(略)业绩、公司荣誉等,原件)。7.资格证明材料(1)营业执照、税务登记证以及组织机构代码证(复印件)。(2)法定代表人授权书(原件)。(3)法定代表人(略)明材料(如(略)、护照等)(复印件)。(4)法人授权代表(略)明材料(授权代表投标需提供,如(略)、护照等)及单位社保证明(复印件)。(5)供应商最新的年度财务报表(复印件)。(6)仪器设备生产或经营企业许可证(如有,复印件,特殊行业必须提供)。(7)仪器设备销售代理授权证明(进口货物非生产制造厂商投标的,须按第2.2条要求提供,专项授权书提供原件、代理证书提供复印件)。(8)有关(略)出具的质量体系认证证书(如有,例如(略)、FDA、CE、3C等,国家强制要求的设备必须提供,复印件)。(9)近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式(以教学、科研用户为主,原件)。8.服务措施、服务承诺(主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等)(原件)。9.供应商认为应该提供的其他材料。(二)特别说明1.“磋商响应文件”应装订并密封,并加盖投标单位公章。2.正本一份,副本三份,如副本与正本有出入,以正本为准;3.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服(略)要求,参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第(略)条中的要求执行。十、磋商文件价格:人民币(略)(相关缴纳事宜详见附件3),售后不退。十一、(略):供应商在(略)前,须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告,完全了解并接受其所有条款及要求,并在(略)年1月(略)日前将(略)函(格式见附件2)(略)至采购人处(lrb(略)***)。十二、递交磋商响应文件相关事宜:(一)顺丰快递邮寄方式(建议优先采用)1.寄达时间(略)年1月(略)日9(略)前。2.收件人信息: 收件人:(略)系方式(略) 收件(略))(二)(略)递交方式1.递交时间(略)年1月(略)日8(略)~9(略).递交地址:(略)截止时间(略)年1月(略)日9(略)。十四、磋商时间(略)年1月(略)日9(略)。竞争性磋商公告附件.rar;
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