招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托，于2022-06-07在采购与招标网发布 表面化学催化剂制备系统（JJ2022000044）采购公告。现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 项目名称表（略）项目编号JJ（略）公告开始日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）公告截止日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）采购单位福州大学付款方式联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看签约时间要求成交后（略）个工作日内到货时间要求内贸：合同签订后（略）个工作日内预算总价￥（略）.（略）+NaN+NaN发票要求增值税普通发票增值税专用发票含税要求送货要求安装要求收货地址福（略）采购法》第二十二条规定的供应商基本条件公告说明采购清单1采购商品采购数量计量单位所属（略）类表（略）1台其他仪器无无品牌品牌1中国重庆（略）公司型号D（略）-（略）品牌2型号品牌3型号预算单价￥（略）.（略）技术参数及配置要求1、采用不锈钢设备框架，抗指纹不锈钢，钢板厚度大于1.8mm2、全抛光一体式不锈钢反应器1.1、反应器内径≥（略）毫米，满足基片尺寸≥4英寸要求；1.2、反应器采用浇铸电阻丝进行加热并导热，便于进行温度均匀性调控，加热温度：室温~（略）℃，控制精度±0.1℃；1.3、反应器盖子采用双层设计，并填充保温层，增加温度稳定性和均匀性。3、不（略）3.1、配备不锈钢（略）、（略）和（略）；*3.2、（略）配置4（略）源，（略）采用进口耐高温、高速专用电磁阀门，工作压力范围：真空～（略）.0bar，工作温度：0～（略）℃；3.3、配备VCR接口、不锈钢原料瓶和2个VCR接口隔膜阀，用于易燃易爆前体；3.4、配置4个加热套，对（略）和3（略）源进行加热，加热温度范围0~（略）℃，精度±0.1℃。配备耐高温VCR接口大通径球阀，避免粉末前体（略）。*4、沉积厚度均匀性偏差：+-1%（以三甲基铝和水为前体沉积Al2O3为参考，沉积温度（略）℃）；*5（略）配置高浓度臭氧发生器、O2O3（略）和精密数字流量计，控制精度±0.3sccm，臭氧产量大于6gh，另外，配置重复性良好装置；6（略）采用8（略），且采用固体继电器控温，节能高效，温控精度±0.1℃；*7、气动控制采用进口8（略）集成高速阀岛，其中1（略）用于控制尾阀、4（略）用于控制前体源（最大可扩展至7（略）源），工作压力范围：－0.9～（略）.0bar；8、采用高速机械真空泵，抽速≥3Ls，极限压力≤9×（略）-3mbar，配备KF快接接口，方便装卸；配油雾过滤器，用于吸附过量的反应物；9、工作压力≥1mbar，通过程序控制载气流量，宽范围可调，控制精度为±1Pa；（略）、设备总功耗小于（略）W，且设置有停电保护功能和漏电保护功能；（略）.1、设备由电脑控制。方便程序升级、更新、沉积工艺加载和保存；（略）.2、沉积（略）采用高度集成（略）合界面，可在同一界面方便地对沉积参数进行控制；（略）.3、程序自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、（略）等，并可长久保存；*（略）.4、配备Closetype和Flowtype两种模式，程序可任选两种模式中的一种，一键设定；*（略）.5、沉积序列设置方便，可交替循环，并能实现多层交替复合膜、多层多组（略）变化的梯度膜的沉积；（略）.6、程序设计有最高气压限制、温度范围限定，防止CVD反应。参考链接售后服务质量保证期:验收合格之（略）点:国内;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×（略）小时;备用机:（略）小时内无法排除故障，免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务，维修过程只收取配件费，且以最优惠价格提供;暂无;福州大学（略）-（略）-（略）:（略）:（略）FF（略）E;DD（略）E;EE（略）E;