招标代理公司（立即查看） 受业主单位（立即查看） 委托的项目评审工作已圆满结束，于2024-06-21在采购与招标网发布 华电院采购共聚焦射频磁控溅射系统竞价公告(JJ24062109323834)，现将成交供应商名单公告。 华电院采购共（略）竞价公告JJ（略）剩余时间：（略）天（略）：（略）：（略）说明：各有关当事人对竞价公告内容有异议的，可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。采购单位：华南师范大学联系人：（略）电话：（略）-（略）E-mail：无传真：无联系手机：无邮编：无--质疑电话：（略），（略）联系电话（异议）（略）：华电院采购共（略）竞价编号：JJ（略）采购类型：货物类开始时间：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）项目预算（略）：（略）,（略）.（略）结束时间：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）--一、基本信息竞价编号：JJ（略）项目名称：华电院采购共（略）项目预算（略）：（略）,（略）.（略）报价方式：总价报价采购单位：华南师范大学联系人：（略）*最少报价家数：3联系电话：******联系手机：******（略）：******异议反馈：******开始时间：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）截止时间：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）联系电话（异议）（略）：货物类开始时间：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）项目预算（略）：（略）,（略）.（略）结束时间：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）--二、资格条件资格条件：原厂或者原厂授（略）要求付款方式：签订合同后预付合同款的（略）%，验收合格后付剩下的（略）%。交付时间：签订合同后7天送货。交付地址：（略）5栋。质保期及售后要求：产品（略）机免费保修期不少于1年，需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。承诺设备投入使用后，若仪器发生问题，对相关的技术问题能在（略）小时内及时进行响应，供方可通过电话、传真、（略）等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、（略）等在1个工作日内仍不能解决问（略）师应在其后（略）小时内赶到需方（略）进行检修；若发生（略）不能解决的问题，供方可将仪器（或故障部件）带回国内办事处进行处理，处理时间最长不超过（略）个工作日。质保期内，供方为检修仪器发生的所有费用由供方承担。质保期后，若仪器发生故障，供方可按相关定额标准收取相关服务费及材料费。若需方能将仪器邮寄到供方国内办事处进行修理，供方只收取相应的材料费。其他要求：无--报价人资格条件：原厂或者原厂授权。--备注：--各有关当事人对竞价成交结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起3天内提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。--四、技术要求项目名称：华电院采购共（略）--序号标的名称数量单位品牌产品类别型号--是否限定品牌技术要求1共（略）1.（略）台微纳真空VJC-（略）Pro是1.真空腔室：净空间尺寸不大于Φ（略）×H（略）mm，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ（略）mm，配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、（略）、防污隔板等均采用（略）无磁不锈钢材质；2（略）：主泵（略）子泵抽速不小于（略）m3h，前级泵抽速不小于（略）m3h，全量程数显复合真空计量程：1×（略）～1×（略）-5Pa；3.★真空极限：优于2.3×（略）-7Torr；4.抽速：抽至4.0×（略）-6Torr≤（略）min；5.基片台：根据客户要求定制的基片台，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配一体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台旋转：旋转速度0-（略）转（略）连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热：PID智能温控表，控温范围室温～（略）°C；6.★溅射靶及电源：不少于2只圆形平面靶，靶面尺寸不小于φ（略）mm，可调（略）度不小于±（略）°，可单靶轮流双靶聚焦共溅射；直流电源不少于1台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源1台，频率（略）.（略）MHz，要求自动匹配；7.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，（略）度与靶倾斜（略）度同步可调，要求磁流体密封；8.速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪（略）监控溅射速率和膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示（略）辨率±0.1ās，厚度显示（略）辨率±1ā；9（略）：不（略）工艺气体MFC控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；（略）：PLC+触（略）的控制（略）为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，（略）使用期限：永久有效；（略）.辅件配置：冷却循环水机1台，制冷量不小于1P；--技术要求：1.真空腔室：净空间尺寸不大于Φ（略）×H（略）mm，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ（略）mm，配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、（略）、防污隔板等均采用（略）无磁不锈钢材质；2（略）：主泵（略）子泵抽速不小于（略）m3h，前级泵抽速不小于（略）m3h，全量程数显复合真空计量程：1×（略）～1×（略）-5Pa；3.★真空极限：优于2.3×（略）-7Torr；4.抽速：抽至4.0×（略）-6Torr≤（略）min；5.基片台：根据客户要求定制的基片台，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配一体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台旋转：旋转速度0-（略）转（略）连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热：PID智能温控表，控温范围室温～（略）°C；6.★溅射靶及电源：不少于2只圆形平面靶，靶面尺寸不小于φ（略）mm，可调（略）度不小于±（略）°，可单靶轮流双靶聚焦共溅射；直流电源不少于1台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源1台，频率（略）.（略）MHz，要求自动匹配；7.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，（略）度与靶倾斜（略）度同步可调，要求磁流体密封；8.速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪（略）监控溅射速率和膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示（略）辨率±0.1ās，厚度显示（略）辨率±1ā；9（略）：不（略）工艺气体MFC控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；（略）：PLC+触（略）的控制（略）为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，（略）使用期限：永久有效；（略）.辅件配置：冷却循环水机1台，制冷量不小于1P；售后服务：--五、附件序号附件名称（略）时间大小操作本人已阅读并同意《供应商报价须知》--免责声明--本页面提供的内容由采购人发布，（略）教育（略）及其运营单位对其内容概不负责，亦不承担任何（略）授权，严禁以任何（略）数据，一经发现，依法追究法律责任。竞价地址FF（略）E;DD（略）E;EE（略）E;